L-iżvilupp ta' sensuri tal-użin minjatura huwa relatat mill-qrib mal-avvanzi fit-teknoloġija MEMS (Mikro-Electro-Mechanical Systems). It-teknoloġija MEMS tippermetti li s-sensuri jiġu minjaturizzati għal ftit millimetri fid-daqs u jiżnu biss ftit grammi, li tippermetti l-integrazzjoni tagħhom f'apparati intelliġenti li jintlibsu (bħal funzjonijiet ta 'monitoraġġ tal-piż fl-ismartwatches) u elettronika għall-konsumatur (bħal buttuni sensittivi tal-pressjoni- fuq smartphones), u b'hekk jespandu l-konfini tal-applikazzjoni tas-sensuri tal-użin.
L-avvanz teknoloġiku ewlieni jinsab fl-ottimizzazzjoni nanoskala ta 'elementi ta' sensing piezoresistive semikondutturi. Permezz ta' impjantazzjoni tal-joni u proċessi ta' depożizzjoni ta'-film irqiq, tinkiseb skoperta ta'-preċiżjoni għolja ta' 0.01%. It-teknoloġija tal-ippakkjar kompost timpjega struttura tas-saff doppju tal--metall- tas-silikon, li tipprovdi protezzjoni kontra l-umdità u t-trab filwaqt li tikkontrolla d-drift tat-temperatura fi ħdan ± 0.005% / grad. Ikomplu jitfaċċaw disinji innovattivi, inklużi sensuri ta 'sottostrat flessibbli u soluzzjonijiet ta' induzzjoni elettromanjetika.
F'sistemi ta 'sewqan tal-pannelli solari bis-satellita, sensuri ta' użin żgħar jiksbu kejl preċiż fil-livell ta '0.1 N·m, b'żero drift ta' inqas minn 0.01% FS f'ambjent vakwu, li jiżguraw skjerament bla xkiel u preċiż tal-pannelli solari. Fil-qasam tal-apparat mediku, sensuri żgħar ġew applikati b'suċċess għal sistemi ta 'feedback tal-forza konġunta f'robots kirurġiċi, u jtejbu l-eżattezza operattiva għal-livell sub-mikron.